MKS 提供全面的高性能质量流量控制器 （MFC） 产品组合，旨在在调节气体流量方面提供卓越的精度和可靠性。这些创新仪器非常适合各个行业的广泛应用，包括半导体制造、化学加工和研究实验室。

MKS MFC 利用先进技术来确保准确且可重复的气体流量测量和控制。它们有多种配置可供选择，以满足不同的流量要求和气体兼容性。无论您需要精确控制空气、氮气、氢气还是其他特种气体，MKS 都能提供 MFC 技术来满足您的特定需求。

G 系列快速、可重复的质量流量控制器

G 系列质量流量控制器是具有成本效益的热流量控制器，具有快速和可重复的性能，非常适合大多数行业和应用。

G 系列 GE50A 数控质量流量控制器可配备 RS485、Profibus™、EtherCAT®、PROFINET 或 DeviceNet™ I/O。数字控制电子设备采用最新的 MKS 控制算法，可在整个设备控制范围内快速、可重复地响应设定点。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准可产生校准气体设定点精度的 1%。

• 流速从 5 到 50,000 sccm;

• Viton、Buna、氯丁橡胶或 Kalrez 的密封件和阀塞选项;

• 多种数字（EtherCAT、DeviceNet™、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模拟（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O 选择;

• 标准闭合电导泄漏率小于满量程的 0.1%;

• 建立时间小于 750 毫秒。

  
  

• 多种数字和模拟接口选择

• GE50A 数字控制 MFC 提供模拟或数字 I/O。数字控制电子设备采用最新的 MKS 控制算法，在整个设备控制范围内为设定点提供快速和可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。GE50A 的模拟和数字 I/O 可以轻松替换 1179A MFC 的相同 I/O 类型。所有 GE50A 都包括 Modbus 作为可用的辅助 I/O（不包括 PROFINET® 和 EtherCAT®）。

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• 标准 3 英寸占地面积

• GE50A 采用 5 sccm 至 50 slm 流速范围内 MFC 最常用的标准 3 英寸占地面积，无需修改现有气体管线配置即可使用。

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• 全金属接液表面

• GE50A 的设计采用了最少的弹性体使用。只有一个外部弹性体密封件和弹性体阀塞。否则，所有接液表面都是金属的。GE50A 标配氟橡胶®密封件以及丁腈橡胶、氯丁橡胶®、EPMD 或 Kalrez® 选项，允许该设备用于需要这些替代品之一的气体

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• 设定点精度百分比

• 随附的数字校准可在 20% 至 100% 的满量程流量范围内使用 N2 校准气体产生 1% 的设定点精度。设定点精度可实现精确的过程控制，与相对于满量程的精度。对于满量程 2% 至 20% 的质量流速，精度为满量程的 ±0.2%。

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• 嵌入式用户界面

• 嵌入式用户界面提供了轻松更改设备范围和用户气体的能力，从而减少了库存要求。还可以监视 MFC 功能并就地收集性能数据。

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• 获得专利的热传感器

• 久经考验的专利热传感器设计可提供卓越的零稳定性。美国专利号5461913。