mks,DELTA™ II 2 区流量比控制器, DLT2B-模拟

DELTA™ 系列质量流量比控制器以用户指定的比例将混合工艺气体流量划分和控制到工艺室内的多个腔室或区域，以优化工艺均匀性和可重复性。DELTA™ 系列流量比控制器具有卓越的性能和紧凑的设计，是流量比控制行业领导者 MKS 的最新产品。

• 准确、可重复地控制流量比，以实现更好的工艺优化;

• 数字控制回路可对通道设定点做出快速响应，不受气体混合的影响;

• 使用标准网络浏览器，无需特殊软件。

• DELTA II 在改变输入流量时保持严格的比率控制。我们独特的正在申请专利的比率控制算法使比率和流量响应时间小于两秒。

• 嵌入式电子诊断

• DELTA II 的诊断功能允许用户现场检查 DELTA 的性能，通过减少“未发现问题”设备的移除来降低成本。此功能是通过通过设备的以太网端口访问的 Web 浏览器实用程序启用的。该实用程序使用标准 web 浏览器 - 不需要特殊软件。对于访问，可以通过设备明亮的 LED 显示屏访问 IP 地址。

• 分流应用

• DELTA II 广泛用于蚀刻、带材和 CVD 等各种分流应用，使用户能够将气体或气体混合物分配到工艺室中的两个不同区域。向 DELTA II 发送气体（或任何混合物）和比率设定点，DELTA II 会自动精确地将气体分成两个独立的输出通道。

• 吞吐量和过程控制对半导体器件制造商来说一直至关重要。随着 300 毫米晶圆和双工艺室的出现，越来越需要新的气体流量分配控制方法。300 毫米晶圆加工通常需要对整个晶圆上的气体分布进行可调控制，以提供更好的工艺均匀性。双工艺室需要适当的气体分配，以便与单一来源的气体面板进行腔室匹配。