mks,DELTA™ II 2 比控制器, DLT2B-EtherCAT 流量比控制器，2 通道，EtherCAT

946 是一款多功能半机架真空计测量和控制系统。它为多达六个不同的真空计和/或质量流量控制器提供电源和同步读数，并具有控制压力的选项。这款高度灵活的真空系统控制器支持多种传感器技术，包括 Baratron® 电容压力计、冷阴极、热阴极、标准皮拉尼和对流皮拉尼传感器，测量范围从超高真空到高于大气压。

• 同时控制和显示六个真空计和/或质量流量控制器；

• 压力读数从 10,000 Torr 降至 10-11托；

• 与 MKS 阀门一起使用的闭环压力控制选项；

• 所有配置均采用 RS232/485 计算机控制标准，便于系统集成；

• 使用多个质量流量控制器进行流量比控制；

• 仪表之间的通信使参考传感器能够跨越或归零另一个仪表。

• 高度灵活的真空系统控制器

• 这款高度灵活的真空系统控制器支持多种传感器技术，包括 Baratron® 电容压力计、冷阴极、热阴极、标准皮拉尼和对流皮拉尼传感器，测量范围从超高真空到高于大气压。此外，946 系列控制器还将监测和控制 MKS 质量流量控制器 I、G 或 P 系列以及传统质量流量控制器以及 MKS 压力控制阀。

• 传感器之间的内部通信

• 传感器卡之间的内部通信，为多达三个传感器提供组合输出，用于一次连续压力读数。内部控制功能提供离子计的自动控制，保护它们在高压下免受意外通电的影响。946 系列还为外部信号和控制提供设定点继电器，并可配置为提供上游或下游系统压力控制。串行通信和单独的模拟输出也作为标准功能提供。

• 12 个可编程设定点继电器

• 946 系列提供 12 个用户可编程设定点继电器，具有可调节的迟滞，三个卡插槽各分配 4 个。模拟输出可以编程为线性缩放、对数缩放或设定点，并且可以分配给六个传感器通道中的任何一个。

• 数字 PID 压力控制

• 通过安装阀门驱动卡，通过MKS气体配比阀或排气节流阀实现快速、准确的闭环数字PID压力控制。此外，上游压力控制可以通过质量流量控制器和在比率模式下运行的 MFC 卡来完成。

• 兼容的压力传感器

• Baratron® 电容压力计提供 0 至 10 VDC 输出

• MKS 皮拉尼传感器

• MKS 对流皮拉尼传感器

• 423、431 和 422 系列冷阴极电离传感器

• 裸体和 MIG 型热阴极电离传感器

• 兼容的质量流量控制器

• Mass-Flo® 质量流量控制器

• G、I 和 P 系列质量流量控制器

• 传统质量流量控制器

• 任何需要 ±15 VDC 或 +15 至 +24 VDC、0-5 VDC 设定点和标准 15 针或 9 针 D-sub 电缆连接的 MFC

• 兼容的压力控制阀

• 248A、148J、154A 电磁控制阀

• 153D 和 T3Bi 排气节流阀