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| 品牌Entegris | 有效期至长期有效 | 最后更新2025-11-14 22:21 |
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Entegris Chambergard™ FV50D XL 气体扩散器，CG2NDD050R2
快速减少负载锁定和传输室中的颗粒和排气时间，并具有高效、坚固的镍盘膜。
额定循环次数为 1,000,000 次，设计用于在更高的入口压力下运行；
紧凑型扩散装置中的专利烧结镍技术在所有应用中都能提供卓越的性能；
从进入的气体中去除大于 0.0015 μm 的颗粒，最大限度地减少晶圆缺陷；
易于安装/改装到现有工具中，最大限度地减少停机时间。
