隔膜阀SUS型（不锈钢）

隔膜阀SUS型（不锈钢）

半导体制造阀门，提供高性能和卓越的性价比

■ <SUS > 是一款经济型型号，专为半导体制造设计<隔膜型高压阀门>兼容高纯度气体（半导体和特殊材料气体）。

这款<隔膜高压阀>采用SUSF304不锈钢，具有优异的耐腐蚀性。 如果隔膜结构能隔离驱动段（手柄侧）和气流，

它实现了高度的气密性和清洁性，防止油污和异物进入手柄。 此外，<隔膜阀 SUS > 型严格按照《高压气体安全法》制造（*部分气体除外）。

● ≪ 主要兼容气体类型≫

腐蚀性气体/有毒气体等。

*另一种适合液化气体的平坐座椅也单独提供。 你可以选择金属触感规格，除了树脂板，以匹配液体。

*此外，我们还提供多种针对该流体定制的气体接触材料。

* 不锈钢隔膜阀可安装于通用高压气体容器和专用高压气体不锈钢容器上。

■【产品阵容】

·SUS-12-0H

·SUS-12-1H

·SCR-55L（抛光与高洁净规格）

·SUS-55L

■ [本产品的特点]

● 阀体采用SUSF304不锈钢，具有优异的耐腐蚀性。

● 采用特氟龙和双O型圈等填充物实现高气密性。

● 兼容压缩和液化气体，适用于一般高压气体。

● 兼容半导体和特殊材料气体的清洁阀门。

● 根据使用环境量身定制的多款不锈钢容器阀门。

● 在日本自有工厂进行高品质制造