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岛津分子泵——TMP-5305LMC TMP-05

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  • 主营产品|TMP 涡轮分子泵
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品牌Shimadzu 有效期至长期有效 最后更新2026-11-13 13:18
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岛津分子泵——TMP-5305LMC TMP-05

TMP-5305LMC

涡轮分子泵 · TMP-05 系列

进气口法兰：VG400 / ISO400B|排气口法兰：KF63|抽速N₂：5300 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量：2250 mL/min|冷却方式：水冷|安装方向：仅限垂直安装.|重量：160 kg

用途：大流量刻蚀、等离子刻蚀

TMP-5305LMC

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