Entegris VaporSorb™ TRK 化学空气过滤器，ESI006670-01

VaporSorb™ TRK 化学空气过滤器过滤解决方案可针对 22 nm 及以下的各种空气传播分子污染物提供全面保护。高性能过滤器可去除空气中的胺、无机酸、弱酸和有机物，达到十亿分之一的范围。

  高性能吸附剂可有针对性地去除污染物；

  防止 PGMEA 意外转化为乙酸；

  去除酸、碱、有机物、弱酸和臭氧；

  经过验证的 DUV 和 EUV 抗蚀剂保护，可提高 CD 均匀性；

  适用于所有涂布机/显影工具，易于安装。