VAT真空阀——64.2 高真空控制闸阀

64.2 高真空控制闸阀

64.2 高真空控制闸阀（真空闸阀），适用于高循环真空控制和隔离 设计用于在溅射或蚀刻工艺等高循环真空工艺中进行可靠精确的控制和隔离。该系列满足耐用性、模块性和可维护性的标准要求。

真空闸阀 · 高真空控制闸阀

公称通径：DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14"), DN 400 (16")|压力范围：DN 100 – 200 DN 250 – 400，1 × 10 -8 mbar to 2 bar (abs) 1 × 10 -8 mbar to 1.2 bar (abs)|驱动器：带有步进电机的集成压力控制器|法兰：ISO-F, CF-F, ASA-LP，ASA, JIS

阀体材料：不锈钢|密封：阀盖、阀板、馈通件，氟橡胶|安装位置：DN 100 – 350 DN 400，任何位置 水平位置

用途：适用于高循环真空控制和隔离 64.2 高真空控制闸阀设计用于在溅射或蚀刻工艺等高循环真空工艺中进行可靠精确的控制和隔离。该系列满足耐用性、模块性和可维护性的标准要求，并且特别注重长正常运行时间和低购置成本。 64.2 高真空控制闸阀采用 VATLOCK 技术，可提供可靠的密封，同时不会在阀板密封处产生任何摩擦。阀板可充当节流元件，改变阀门开度的流导特性。设备上压力控制器可计算所需的阀板位置以达到规定的设定点压力。步进电机进行驱动，同时编码器监控阀板位置。这样可确保快速准确地控制过程压力。位于关闭位置的专用 VATLOCK 锁定机制能够确保在断电的情况下，将密封隔离与故障保护关闭相结合。