VAT真空阀——25.0 全真空内联阀

25.0 全真空内联阀

25.0 全真空内联阀（真空角阀），在恶劣工艺环境下提供最大流导 高真空钢瓶阀系列旨在用于包含携带腐蚀性物质和粒子的气体的恶劣工艺环境中。

角阀/内联/圆柱阀 · 全真空内联阀

公称通径：DN 16 (⅝"), DN 25 (1"), DN 40 (1½")|压力范围：1 × 10 -8 mbar to 3 bar （绝对压强）|驱动器：双作用|法兰：ISO-KF、ISO-KF“羊角型”

阀体材料：铝|密封：阀盖、阀板、馈通件，氟橡胶|安装位置：任何位置

用途：在恶劣工艺环境下提供最大流导 25.0 高真空钢瓶阀系列旨在用于包含携带腐蚀性物质和粒子的气体的恶劣工艺环境中，例如次晶圆厂工艺。该系列有角度 (25.0)、串联 (25.1) 和 3向2通路设计 (25.2) 可供选择，每个版本均采用最大电导率。 为提供耐用性和较长的正常运行时间，25.0 高真空钢瓶阀系列具有密封保护系统，兼具钢瓶设计的高流导和更长的密封寿命等优势。该密封保护系统通过钢瓶倾斜-转动-倾斜的动作工作，在该动作中，钢瓶会通过提起动作移除阀座上的闸封，以避免任何摩擦、密封磨损以及粒子的生成。在全开启（90° 旋转后）的情况下，倾斜-转动-倾斜的动作还会将密封件轻柔地压向阀体，防止密封件接触气流中可能存在的磨蚀粒子。断电时，阀体机构将被锁定在打开或关闭位置，维持阀体最后的位置。