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岛津分子泵——TMP-X1205LM TMP-X05

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  • 主营产品|TMP 涡轮分子泵
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品牌Shimadzu 有效期至长期有效 最后更新2026-11-13 13:22
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岛津分子泵——TMP-X1205LM TMP-X05

TMP-X1205LM

涡轮分子泵 · TMP-X05 系列

进气口法兰：VG150 / ISO160B|排气口法兰：KF40|抽速N₂：1080 L/s / 950 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量：850 mL/min|重量：43 kg

用途：刻蚀工艺、离子注入

TMP-X1205LM

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