| 品牌Shimadzu | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-11-13 13:22 |
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岛津分子泵——TMP-X2905LMC TMP-X05
TMP-X2905LMC
涡轮分子泵 · TMP-X05 系列
进气口法兰:VG250 / ISO250B|排气口法兰:KF40|抽速N₂:2500 L/s|极限压力(烘烤后):10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量:1300 mL/min|冷却方式:水冷|安装方向:任意方向|重量:100 kg
用途:刻蚀工艺、离子注入

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