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岛津分子泵——TMP-403M TMP-03

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  • 主营产品|TMP 涡轮分子泵
  • 公司地区|中国
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品牌Shimadzu 有效期至长期有效 最后更新2026-11-13 13:22
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岛津分子泵——TMP-403M TMP-03

TMP-403M

涡轮分子泵 · TMP-03 系列

进气口法兰：VG150 / ICF203 / ISO160B / ISO160C|排气口法兰：KF25|抽速N₂：420 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁸ Pa 量级|冷却方式：风冷|安装方向：任意方向|重量：14 kg

用途：半导体刻蚀、离子注入

TMP-403M

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