| 品牌Shimadzu | 有效期至长期有效 | 最后更新2026-11-13 13:22 |
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岛津分子泵——TMP-803LMC TMP-03
TMP-803LMC
涡轮分子泵 · TMP-03 系列
进气口法兰:VG150 / ICF203 / ISO160B|排气口法兰:KF40|抽速N₂:800 L/s|极限压力(烘烤后):10⁻⁸ Pa 量级|冷却方式:水冷|安装方向:任意方向|重量:33 kg
用途:半导体刻蚀、离子注入

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