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岛津分子泵——TMP-1103LMPC TMP-03

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  • 主营产品|TMP 涡轮分子泵
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品牌Shimadzu 有效期至长期有效 最后更新2026-11-13 13:22
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岛津分子泵——TMP-1103LMPC TMP-03

TMP-1103LMPC

涡轮分子泵 · TMP-03 系列

进气口法兰：VG200 / ICF253 / ISO200B|排气口法兰：KF40|抽速N₂：1080 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁸ Pa 量级|冷却方式：水冷|安装方向：任意方向|重量：32 kg 以下

用途：半导体刻蚀、离子注入

TMP-1103LMPC

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