岛津分子泵——TMP-2804LMTC TMP-04

TMP-2804LMTC

涡轮分子泵 · TMP-04 系列

进气口法兰：VG250 / ISO250B|排气口法兰：KF40|抽速N₂：2800 L/s / 2500 L/s|极限压力(烘烤后)：10⁻⁷ Pa 量级|最大允许氩气流量：1000 mL/min （Set temperature ：65 ℃）|冷却方式：水冷|安装方向：任意方向|重量：84 kg

用途：半导体刻蚀、离子注入