VAT真空阀——04.3 高真空传输阀与L-MOTION

04.3 高真空传输阀与L-MOTION

04.3 高真空传输阀与L-MOTION（真空传输阀），快速且精准，尤其适用于腐蚀性工艺 采用L-MOTION技术的高真空传输阀特别适合腐蚀性工艺。

真空传输阀 · 高真空传输阀与L-MOTION

压力范围：铝或镀镍铝，1 × 10 -9 mbar to 1.1 bar (绝对压强)|驱动器：双作用，带位置指示器

阀体材料：铝或硬质阳极氧化铝|密封：阀板、检修盖，氟橡胶|安装位置：驱动器可向上或向下安装

用途：快速且精准，尤其适用于腐蚀性工艺 采用L-MOTION技术的高真空传输阀特别适合腐蚀性工艺，例如蚀刻或 CVD。L-MOTION技术通过单轴气动驱动器实现阀板的L-MOTION。在这种L-MOTION中，阀板在不接触阀体的情况下垂直移动到关闭位置，在最后的运动中被水平推到阀座上，同时，密封件在完全相同的压力下接触阀座。这不仅避免了任何摩擦的发生和潜在粒子的生成，还最大限度地减少了密封件磨损。