VAT真空阀——67.0 真空控制阀

67.0 对称控制阀

67.0 对称控制阀（真空控制阀），系列专为半导体生产中的腐蚀性蚀刻和清洁工艺而设计，可用作下游控制和隔离阀。 工艺室内的气流特性直接影响工艺速度和质量。尽管传统上。

真空控制阀 · 对称控制阀

公称通径：DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14"), DN 400 (16"), DN 450 (18"), DN 500 (20")|驱动器：两个带有闭环控制步进电机的 同步线性驱动器|法兰：泵侧： ISO-F, JIS, 舱室侧： 专有

阀体材料：铝或硬质阳极氧化铝|密封：法兰、阀板、驱动器，氟橡胶|安装位置：驱动器朝下

用途：67.0 系列专为半导体生产中的腐蚀性蚀刻和清洁工艺而设计，可用作下游控制和隔离阀。 工艺室内的气流特性直接影响工艺速度和质量。尽管传统上，工艺设计最注重气体流入，但下游气流同样有助于工艺优化。 通常，晶圆周围的气流越均匀，晶圆上的气体反应就越平稳、越同步。