VAT真空阀——05.2 高真空传输插件与L-VAT

05.2 高真空传输插件与L-VAT

05.2 高真空传输插件与L-VAT（真空传输阀），适用于装载锁和工艺室隔离；通径 46 x 236 mm 至 50 x 336 mm (1…；驱动 双作用, 带位置指示器。

真空传输阀 · 高真空传输插件与L-VAT

公称通径：46 x 236 mm 至 50 x 336 mm (1.81" x 9.29" to 1.97" to 13.23")|压力范围：1 × 10-9 mbar 至 1.2 bar（绝对压强）|驱动器：双作用，带位置指示器

阀体材料：铝|密封：氟橡胶|安装位置：驱动器可向下安装

用途：适用于装载锁和工艺室隔离