VAT真空阀——29.1 带软抽功能的高真空内联阀

29.1 带软抽功能的高真空内联阀

29.1 带软抽功能的高真空内联阀（真空角阀），无湍流或压力脉冲的抽气、排气 对带有软抽功能的阀门的主要要求是避免阀门开启期间的湍流，因为这样可能会对工艺造成不良影响。

角阀/内联/圆柱阀 · 带软抽功能的高真空内联阀

公称通径：DN 25 (1’’) DN 40 (1½’’), DN 50 (2’’)|压力范围：1 × 10-8 mbar to 1.2 bar（绝对压强）|驱动器：单作用，带闭合弹簧 (NC)|法兰：ISO-KF

阀体材料：铝或不锈钢|密封：FKM|安装位置：任何位置

用途：无湍流或压力脉冲的抽气、排气 对带有软抽功能的阀门的主要要求是避免阀门开启期间的湍流，因为这样可能会对工艺造成不良影响，例如粒子生成。此外，阀门开启期间的高压差导致的压力快速变化可能会导致突发的冷凝效应，可能会对工艺参数造成不良影响。29.1 带软抽功能的高真空内联阀避免了这个问题。 29.1 的软抽功能通过闭合阀板中的可调节开孔实现。阀盖中的调整轮可以微调软抽效果。这样可以确保校准至所需的工艺参数。