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VAT真空阀——77.1 超高真空快关挡板阀
77.1 超高真空快关挡板阀
77.1 超高真空快关挡板阀(真空快关阻挡阀),防止加速器和储存环涌入空气(转动挡板设计) 对快关挡板的主要要求是快速反应以及在空气涌入的情况下保持可靠。因空气涌入造成的超高真空或。
快关/束流阻挡阀 · 超高真空快关挡板阀
公称通径:DN 63 (2½"), DN 100 (4"), DN 160 (6")|压力范围:超高真空至 1.2 bar(绝对压强)|驱动器:双作用
阀体材料:不锈钢|密封:金属|安装位置:阀座侧(带标记) 与气流涌动方向相反
用途:防止加速器和储存环涌入空气(转动挡板设计) 对快关挡板的主要要求是快速反应以及在空气涌入的情况下保持可靠。因空气涌入造成的超高真空或极高真空环境的损失(尤其是加速器或储存环等大体量的损失),可能造成污染、组件损坏等严重问题,并且需投入精力恢复所需真空水平。 77.1 超高真空快关挡板阀在压力上升时具有快速的关闭反应,可保护真空水平。该系列可在 10 毫秒内(具体取决于挡板直径)以极快的速度关闭真空线。关闭挡板会几乎立即将空气涌入减少至 mbar l/s 级别。这为启动全金属阀门留了时间,全金属阀门用于残留泄漏的密封。防止损坏是分秒必争的,因此,77.1 系列为系统保护设定了标准。

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